Die JEOL JXA-8530F Hyperprobe ist ein Elektronensonden-Mikroanalysator mit Feldemissionskathode. Das Instrument ist mit fünf WDS-Spektrometern und zwei EDS-Detektoren ausgestattet. Elemente von Be bis U können routinemäßig in Konzentrationen von 0,01 Gew.% (in einigen Fällen sogar unter 100 ppm) mit einer lateralen Auflösung analysiert werden, die bis in den Submikrometerbereich reicht. Die Integration spezieller Bild- und Analyse-Softwarepakete in Kombination mit dem vollautomatischen Instrument auf dem neuesten Stand der Technik bietet dem Benutzer einzigartige Analysemöglichkeiten.
Vakuumsystem: Ölrotationspumpen, Turbomolekularpumpen, Ionenzerstäuberpumpen, Differentialpumpen
Enddruck: FE-Kanonenkammer ~ 10-8 Pa, Probenkammer ~ 10-4 Pa
Elektronenkanone: Schottky-Feldemissions-Elektronenkanone
Beschleunigungsspannung: 1 - 30 kV
Vergrößerung: × 40 - × 300.000 (WD 11 mm)
Sondenstrom: 10 pA - 0,5 µA bei 25 kV
Auflösung: 3,0 nm bei Acc. V. 30 kV, 10 pA, WD 8 mm, SEI
Bildausgabe: 8 Bit, bis zu 5120 × 3840 Pixel
Bewegung des Probentisches: X 90 mm, Y 100 mm, Z 7,5 mm
Probentischantrieb: minimaler Verfahrweg: X, Y: 0,02 µm / Schritt, Z: 0,5 µm / Schritt
Arbeitsabstand: 11 mm
Integriertes Lichtmikroskop: ½ Zoll CCD, reflektiertes Licht, × 300, Sichtfeld 0,3 × 0,2 mm
Sekundärelektronendetektor (SE): Kollektorelektrode, Szintillator und Fotovervielfacher
Rückstreuelektronendetektor (BSE): Si-PN-Übergang
Wellenlängendispersives Röntgenspektrometersystem (WDS):
Fünf Spektrometer mit linearer Fokussierung mit automatischem Analysatorkristallaustausch an jedem Punkt
Röntgenabnahmewinkel: 40°
Proportionalzähler mit Xe-Füllung und Gasdurchfluss
sieben Analysekristalle: LDE1, LDE2, TAP, PETJ, PETH, LIF, LIFH
nachweisbare Wellenlänge: 0,087 - 9,3 nm
nachweisbarer / quantifizierbarer Elementbereich: B - U.
JEOL Energy Dispersive X-Ray Spectrometer (EDS) -System:
Typ: 10 mm2 Si (Li) -Halbleiter, Peltier-Kühlung
Erkennbarer Elementbereich: B - U.
quantifizierbarer Elementbereich: Na - U.
Energieauflösung: 138 eV oder besser (Fe, 5,9 KeV)
Computerautomatisierung: Komplettes JEOL-Softwarepaket
WDS / EDS-Software für qualitative und quantitative Analysen
WDS / EDS-Software für Linien- und Kartenanalyse
Zusätzlicher Detektor für EMS:
Bruker XFlash 6/10 energiedispersiver Detektor
Zusätzliche Software für EMS:
Bruker Esprit 2.1
Bruker Esprit 2.1-Software
Probe für EMS-Software
- Multi-Elemente Kartierung (Beam-Scan- und X-Y-Stage-Scan-Modi)
- Matrixkorrekturen umfassen ZAF, CITZAF, PRZ, PROZA. Heinrich, Henke und / oder
empirische Massenabsorptionskoeffizienten, Eichkurve, Dünnschichtverfahren
- Erweiterte Untergrundmodelle für die Spurenelementanalyse (automatisierte iterative Polynomanpassung MAN (korrigiert um
die Absorption des Kontinuums) oder Untergrundkorrekturen außerhalb der Spitzenwerte (lineare Interpolation, durchschnittliche
oder einseitige und exponentielle Anpassungen) oder eine beliebige Kombination von Untergrundkorrekturen innerhalb einer einzelnen
Probe)
- Quantitative spektrale Interferenzkorrektur für die Haupt- und Spurenelementanalyse
- Integrierte Area-Peak-Factor (APF)-Korrektur für die Leichtelementanalyse
- Quantitative grafische Korrektur flüchtiger Elemente für einige oder alle Elemente unter Verwendung sowohl der Kalibrierungsreferenz
als auch der intern referenzierten "Selbst" -Kalibrierung
Probe IMAGE-Software
Monte-Carlo-Simulationssoftware (Casino, Penempa, CalcZAF):
Zur Bestimmung, für natürliche und theoretische Matrizen sowie praktische analytische Bedingungen, der Dimensionen der Anregungs-
und Fluchtvolumina für verschiedene Röntgenstrahlen
Modale Bildanalyse-Software
